Voordele:
Hierdie reeks pompe is goed vir prestasie onder moeilike omgewings (hoë temperatuur, stof, ens.), Stabiel in prestasie en lang lewensduur, sowel as eenvoudige onderhoud en maklike werking.
Aansoeke:
Die belangrikste toepassings is industriële lekopsporing, PVD, CVD, ioonimplantasie, vakuumelektroniese komponente, lae-E-glas, ITO-glas, optiese laag, sonselle, elektronbundelsweis, vakuumoond en ander nywerhede
Spesifikasies:
Flens (in) | DN400 ISO-K | Gas deurgaans (sccm) | N2: 5500 |
Flens (Uit) KF | DN100 | Hy: 4000 | |
Pompspoed (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Hy: 2650 | Ar: 2100 | ||
H2: 1280 | Rotasiesnelheid (rpm) | 13500 | |
Ar: 3200 | Aanloop tyd (min) | ≤18 | |
Kompressieverhouding | N2: 108 | Koeltipe, standaard | Water |
Hy: 103 | Verbruik van koelwater (l/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Koelwatertemperatuur (℃) | ≤25 | |
Ar: 108 | Kragaansluiting: Spanning (V AC) | DC24/AC220 | |
Uiteindelike druk (Pa) | 6 × 10-6 | Maks. Kragverbruik (W) | ≤1100 |
Maks. Deurlopende voor-vakuum druk (Pa) | 100 | Beheermodel | FD-III |
Maks. Voorvakuumdruk | N2: 300 | Gewig (kg) | 130 |